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標準形FCシリーズ
FCシリーズはBFシリンダの基本になるタイプで、シリンダ徑φ10～200mmまで、各種取りそろえております。各種サイズとも、単動押出形と複動形（但し、φ25mm以上）があります。取付金具はエル形?フランジ形?トラニオン形?ピボット形をそろえております。（但し、シリンダ徑φ25mm以上） |
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リニアボールベアリング型SCシリーズ
SCシリーズは、軸受にリニアボールベアリングを組み込んでおり、FCシリーズと同一の寸法、構造をもち、
BFダイヤフラムの特長が最大限に生かされています。圧力変動に対する追従性が良い。微圧にて作動する。橫荷重がかかったときに摩擦が変わりにくい。 |
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薄型TCシリーズ
省スペース領域でも高精度な押し圧制御が可能になる。 - 極薄取り付け高さを極力抑えた設計です。
- シール性抜群ダイヤフラムを使用しているため、エア漏れは極めて少ない。
- 応答性抜群圧力がわずかに変化しても、敏感に反応します。
- 始動性良長時間の停止後も、スムーズに作動します。
- クリーン大気側に軸受けによる摺動部が無いため、発塵がほとんどありません。
- 潤滑不要エア配管にルブリケータを設置する必要がありません。
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超精密減圧弁RSシリーズ
圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能です。 - 高精度制御
- 感度0.1％F.S.、繰り返し再現性±0.1％F.S.という高精度の空気圧制御が可能です。
- 優れた特性
- リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。特に、リリーフ最小圧力（リリーフ感度）が0.03kPa（理論計算値と優れていますので、テンションコントロール、エアーバランスなどの用途に最適です。
- 優れた始動安定性
- 長時間作動しなかった後でも、圧力を再調整する必要がありません。
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ステッピングモータ駆動式精密レギュレータRS?M/Sシリーズ
高精度制御 感度0.1％F.S.、ヒステリシス±0.1％F.S.という高精度の空気圧制御- 優れた特性
- リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
リリーフ最小圧力（リリーフ感度）は0.03kPa（理論計算値）
- 優れた始動安定性
- 長時間使用しなかった後でも以前の設定のまま始動しますので、再調整は必要ありません。
- 長期間の圧力安定性
- 圧力設定後、設定圧を長期間正確に保持します。設定後の圧力降下はほとんどありません。
- 高い圧力分解能
- 5相ステッピングモータ駆動により、1ステップの駆動で設定圧をわずかだけ、確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすれば、圧力分解能0.1 kPa以下という高分解能設定が可能です。
- 停電しても圧力を保持
- 突然の停電でも、2次圧は設定圧を保持します。
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超精密減圧弁エアリレーRRシリーズ
他の減圧弁より入力される外部パイロット圧により2次側圧力を可変できるエアーオペレート型の減圧弁です。
圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。 - クリーン仕様
- 部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
- マニホールド対応
- マニホールド配管が可能です。
- 排気ポートを設備
- リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
- 高精度
- 感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能です。
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